Der piezoresistive Effekt ist die Änderung des spezifischen Widerstandes von Halbleitermaterialien bei mechanischer Beanspruchung. Die Widerstandsänderung bei Halbleitern beruht auf der veränderten Beweglichkeit der Elektronen in einer kristallinen Struktur.
Das zu messende Medium hat direkten Kontakt mit dem Messelement für Gase und dünnflüssige, nicht aggressive Flüssigkeiten.
Anwendung: einfache Industrieanwendung, Pneumatik
Eigenschaften: preiswerte Ausführung, für niedrige Messbereiche
Messbereiche: 10 mbar …10 bar
Die Siliziummesszelle ist in ein Edelstahlgehäuse eingebaut und das zu messende Medium wirkt auf eine dünne Edelstahlmembran. Die hinter der Membran befindliche Flüssigkeit überträgt den Druck auf das Messelement.
Anwendung: für allgemeine Industrieanwendungen, Anlagenbau, Laborbereich
Eigenschaften: Messelement ist vom Messstoff getrennt
Messbereiche: 100 mbar …600 bar
Auf der Rückseite der Dünnfilmmesszelle sind Widerstände in definierter Anordnung, als Wheatstone`sche Brücke, aufgetragen. Der Widerstand dieser Brücke ändert sich bei Durchbiegung, der der Messzelle bei Druckbeaufschlagung.
Anwendung: für allgemeine Industrieanwendungen, Umwelttechnik, Hydraulik
Eigenschaften: Messelement ist vom Messstoff getrennt
Messbereiche: 1 bar …4.000 bar
Als Trägermaterial wir Keramik verwendet, wobei auf der Rückseite der Messzelle die Wheatstone`sche Brücke aufgetragen ist. Der Wider- stand dieser Brücke ändert sich bei Durchbiegung der Messzelle bei Druckbeaufschlagung.
Anwendung: für allgemeine Industrieanwendungen, Hydraulik, Maschinenbau
Eigenschaften: hohe Korrosionsbeständigkeit der Keramik
Messbereiche: 1 bar …400 bar
Als Trägermaterial wir Keramik verwendet. Bei Druckbeaufschlagung wird die Änderung des kapazitiven Ausgangssignales der Messzelle verändert.
Anwendung: für Füllstandsmessung, Lebensmittelindustrie
Eigenschaften: hohe Korrosionsbeständigkeit der Keramik
Messbereiche: 50 mbar …20 bar
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